產品型號	VM30/30/60 了解詳情	VM42/45/125 了解詳情
處理箱尺寸(cm)	300×300×600	420×450×1250
料板數量(pcs)	18	88
最高溫度(°C)	1600	1600
使用溫度(°C)	1550	1550
溫度分布(°C)	幅值≤6(±3)	幅值≤6(±3)
極限真空(Pa)	0.0007	0.0007
電源容量(KVA)	170	410
使用氣體	N2,Ar,H2	N2,Ar,H2
場地要求(m3)	4.2×2.6×2.4	5×3×3

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