感應爐 SICG6-D01
雙石英管SiC長晶爐，相較于單石英管長晶爐，在多方面有著不同的機械結構設計，夾層式水冷散熱系統，減少額外的排風系統，對工作環境友好。緊湊立體化的設計，方便布局，大幅提高廠房利用率。
產品優勢
一體化設計
采用集成化設計，對冷卻水，爐體，泵組管道，電源進行整體化設計，從而使占地面積縮小了30%。
頂蓋壓環設計
- 解決雙石英管易碎問題
- 降低生產及售后時間成本
防爆外管
- 完全避免了外管爆裂
- 保證生產安全
先進技術
軸徑分離技術
注：單一爐型不一定涉及全部技術，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術應用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現象。調整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發生改變，從而導致晶體生長界面的凹凸變化、應力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區域的電阻發熱，達到籽晶區域和源料區域的溫度分別控制，達到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩定晶體生長面型的同時能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
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雙石英管SiC長晶爐，相較于單石英管長晶爐，在多方面有著不同的機械結構設計，夾層式水冷散熱系統，減少額外的排風系統，對工作環境友好。緊湊立體化的設計，方便布局，大幅提高廠房利用率。
- 長晶方式PVT
- 加熱平臺感應加熱
- 長晶速度0.1-0.2mm/h
- 長晶尺寸6 inch
- 長晶高度15-25mm
- 線圈類型N/A