感應爐 SICG8-SL07
水平線圈式?晶爐采用水平線圈及整機全鋁設計，使磁場均衡對稱，與【一次傳質】新工藝完美匹配，達到最優化。
產品優勢
整機全鋁
無籽晶托
- 減少應力產生的缺陷
- 實現更靈活的溫度梯度調整
固定式水平線圈
- 提高磁場均衡對稱
- 對籽晶區的溫場做到更精細的調整，使溫度更均衡
【一次傳質】熱場
- 多孔石墨筒，防止重結晶引起的缺陷
先進技術
軸徑分離技術
注：單一爐型不一定涉及全部技術，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術應用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現象。調整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發生改變，從而導致晶體生長界面的凹凸變化、應力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區域的電阻發熱，達到籽晶區域和源料區域的溫度分別控制，達到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩定晶體生長面型的同時能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
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水平線圈式?晶爐采用水平線圈及整機全鋁設計，使磁場均衡對稱，與【一次傳質】新工藝完美匹配，達到最優化。
- 長晶方式PVT
- 加熱平臺感應加熱
- 長晶速度0.2-0.3mm/h
- 長晶尺寸6 inch/8 inch
- 長晶高度30-40mm
- 線圈類型單/雙線圈