感應爐 SICG8-SL07D
在碳化硅8英寸時代到來之際，隨著坩堝的直徑增長，感應線圈只能加熱坩堝的表面，不同位置的徑向溫度梯度都會隨之增大，而這樣的參數變化不適合大直徑的晶體生長。為了對應行業客戶的使用慣性及Know-How的延續，恒普科技解決了雙線圈對石墨坩堝的溫度上下無法分離，做到了【準軸徑分離】，并將技術同時使用在了兩種爐型上，滿足更多客戶的使用習慣。
產品優勢
石英管雙線圈感應晶體生長爐
- 坩堝區域溫度分離
- 方便原工藝過渡
- 水平螺旋線圈，提高磁場平衡與雙線圈匹配
金屬殼雙線圈感應晶體生長爐
- 爐下放下出料，解決8英寸坩堝上取料的不便
- 出料時，坩堝與熱場自動分離，提高爐次的重復性
- 獨特的二次發熱體
- 優化內置線圈絕緣
- 橫向多點測溫
- 提高爐采用特殊定制石墨硬氈
先進技術
軸徑分離技術
注：單一爐型不一定涉及全部技術，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術應用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現象。調整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發生改變，從而導致晶體生長界面的凹凸變化、應力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區域的電阻發熱，達到籽晶區域和源料區域的溫度分別控制，達到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩定晶體生長面型的同時能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
聯系我們
華北、華東/海外事業部：鄒先生
手機：13567416699
郵箱：xiangwei.zou@hiper
華南/華中事業部：華先生
手機：17857054813
郵箱：yecheng.hua@hiper.cn
如遇任何問題，恒普歡迎您的致電！
在碳化硅8英寸時代到來之際，隨著坩堝的直徑增長，感應線圈只能加熱坩堝的表面，不同位置的徑向溫度梯度都會隨之增大，而這樣的參數變化不適合大直徑的晶體生長。為了對應行業客戶的使用慣性及Know-How的延續，恒普科技解決了雙線圈對石墨坩堝的溫度上下無法分離，做到了【準軸徑分離】，并將技術同時使用在了兩種爐型上，滿足更多客戶的使用習慣。
- 長晶方式PVT
- 加熱平臺感應加熱
- 長晶速度0.2-0.3mm/h
- 長晶尺寸6 inch/8 inch
- 長晶高度30-40mm
- 線圈類型單/雙線圈