感應(yīng)爐 SICG6-S01
單石英管SiC長晶爐，擁有簡易的結(jié)構(gòu)，更小的設(shè)計(jì)空間，合理的冷卻時間。
產(chǎn)品優(yōu)勢
AGV智能料車進(jìn)料系統(tǒng)
- 有效減少人力成本。
- 提高上料精度。
全新逆流工藝
- 實(shí)現(xiàn)壓力精度控制±0.3Pa
注：即將推出
先進(jìn)技術(shù)
軸徑分離技術(shù)
注：單一爐型不一定涉及全部技術(shù)，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術(shù)應(yīng)用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現(xiàn)象。調(diào)整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發(fā)生改變，從而導(dǎo)致晶體生長界面的凹凸變化、應(yīng)力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區(qū)域的電阻發(fā)熱，達(dá)到籽晶區(qū)域和源料區(qū)域的溫度分別控制，達(dá)到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩(wěn)定晶體生長面型的同時能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進(jìn)材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
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單石英管SiC長晶爐，擁有簡易的結(jié)構(gòu)，更小的設(shè)計(jì)空間，合理的冷卻時間。
- 長晶方式PVT
- 加熱平臺感應(yīng)加熱
- 長晶速度0.1-0.2mm/h
- 長晶尺寸6 inch
- 長晶高度15-25mm
- 線圈類型N/A