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探索碳化硅生長新未來

恒普資訊

新一代sic晶體生長用材料

隨著導電型SiC襯底的逐漸量產,對工藝的穩定性、可重復性都提出更高的要求。特別是缺陷的控制,爐內熱場微小的調整 […]

2023-05-04
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